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晶圆片托架落座传感器 EE-SPY801 / 802

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晶圆片托架落座传感器 EE-SPY801 / 802

晶圆片托架的落座检测
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通过与导槽并用的方式设定落座位置

与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂

独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架

采用抗干扰光的变调光方式

使用环保导线（无滑石粉）


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黄先生
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